MX63 MX63L

MX63/MX63L

概览

让您的大尺寸样品检测流程更加顺畅
MX63和MX63L显微镜系统经过优化，适用于最大300 mm晶圆的高质量检测。 它们的模块化设计兼容平板显示器、电路板和其他大型样品，让您可以选择所需的组件，根据自己的应用量身定制系统。
这两款符合人体工学设计且人性化的显微镜有助于在提高工作效率的同时，保持检测员的工作舒适性。与PRECiV图像分析软件结合使用时，可以简化从观察到报告创建的整个工作流程。

多功能

设计满足电子行业人体工学和安全性要求，并以更多功能提高分析能力

全面可定制
MX63系列旨在使客户能够选择各种光学组件，以满足其特定的检测和应用需求。该系统可使用所有观察方法。用户还可以从各种PRECiV图像分析软件包中进行选择，以满足其特定的图像采集和分析需求。

人性化
简化的显微镜设置使用户可以更轻松地进行系统设置的调整和重现。

高级成像技术

我们成熟可靠的光学器件和卓越的成像技术可提供清晰的图像和可靠的检测。

模块化
用户可以使用适合其应用的组件进行系统定制。

应用图像库
我们先进的图像管理功能可为您呈现您真正想要观察的内容。

MX63	MX63L
光学系统		UIS2光学系统（无限远校正系统）
显微镜镜架	反射光照明	白光LED（带光强度管理器）12 V 100 W卤素灯，100W汞灯，光导 明场/暗场/反射镜分光镜组件手动切换。（反射镜分光镜组件为选配件。） 通过手动操作调整3位编码分光镜组件 内置电动孔径光阑（针对所有物镜预设，暗场自动完全打开） 观察模式：明场、暗场、微分干涉对比度（DIC）*1、简易偏振光*1、荧光*1、红外和MIX观察（4个定向暗场）*2 *1 选配分光镜组件，*2 需使用MIX观察配置
	透射光照明	透射光照明装置：需使用MX-TILA或MX-TILLB。 - MX-TILLA：聚光镜（数值孔径 0.5）和孔径光阑 - MX-TILLB：聚光镜（数值孔径 0.6）、孔径光阑和视场光阑 光源：LG-LSLED（LED光源）光导：LG-SF 观察模式：明场、简易偏振光
	对焦	行程：32 mm 每转行程微调：100 μm 最小分度：1 μm 配上限限位器和粗调手柄扭矩调节
	最大载荷重量（包括载物台和支架）	8 kg	15 kg
观察筒	宽视场（FN 22 mm）	正像三目镜筒：U-ETR4 正像可调倾角三目镜筒：U-TTR-2 倒像三目镜筒：U-TR30-2、U-TR30IR（用于红外观察） 倒置双目镜筒：U-BI30-2 倒像可调倾角双目镜筒：U-TBI30
	超宽视场（FN 26.5 mm）	正像可调倾角三目镜筒：MX-SWETTR（光程切换100% [目镜]：0 [相机] 或0：100%） 正像可调倾角三目镜筒：U-SWETTR（光程切换100% [目镜]：0 [相机] 或20%：80%） 倒像三目镜筒：U-SWTR-3
电动物镜转换器		明场 带DIC插槽的电动六孔：U-D6REMC 带DIC插槽的电动中心补正五孔：U-P5REMC 明场和暗场 带DIC插槽的电动六孔：U-D6BDREMC 带DIC插槽的电动五孔：U-D5BDREMC 带DIC插槽的电动中心补正五孔：U-P5BDREMC 带真空装置的电动版：U-D5BDREMC-VA
载物台（X x Y）		带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC8R 行程：210 x 210 mm 透射光照明区域：189 x 189 mm 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC6R2 行程：158 x 158 mm （仅适用于反射光）	带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC1412R2 行程：356 x 305 mm 透射光照明区域：356 x 284 mm
重量		约35.6kg（显微镜镜架26kg）	约44kg（显微镜镜架28.5kg）