自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12
概览
AL120-12晶圆装卸器非常适合于低成本后端检测，它是一款半导体检测显微镜，同时兼容FOUP（前开式统集盒）和FOSB（前开式装运箱）。 安全且符合人体工程学的设计可在有效转移晶圆（包括薄晶圆和翘曲晶片）的同时确保操作员的安全。
人机工程学设计，操作方便
坚固、可靠和安全传送
技术规格
自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格 | ||
| AL120-LMB12-LP3 | AL120-LMB12-F |
晶圆尺寸 | 300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可选：200 mm | |
卡盒 | ●FOUP（Front Opening Unified Pods）前开门标准夹 | ●FOSB（Front Opening Shipping Box）前开门搬运盒 |
卡盒数 | 单盒（装载、卸载兼用） | |
卡盒设置高度 | 900 mm | |
装载端口 | 有 | 无 |
搬运顺序 | 表面宏、内面宏、显微镜检查 | |
检查模式 | 全部检查、抽样检查 | |
晶圆校准 | 非接触式中心环 | |
晶圆搬运方式 | 真空吸附机械搬运 | |
适用显微镜 | 半导体检查显微镜MX61L | |
应用环境 | AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz | AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz |
载物台 | XY手动吸附载物台，有XY粗调／微调和360度旋转机构 | |
重量（不包括显微镜） | 约360 kg | 约270 kg |
