LEXT OLS5100 3D激光扫描显微镜
概述
用于材料分析的激光显微镜
智能工作流程，更快地完成实验
OLS5100激光显微镜专为失效分析和材料工程研究而设计，将出色的测量精度和光学性能与智能工具相结合，使显微镜使用起来更加方便。 它可以快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精确测量，不仅简化了工作流程，还能提供值得信赖的数据。
有保证的测量准确度
LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。 与Smart Lens Advisor（智能镜头顾问）配合使用，可以获得值得信赖的准确数据。
易于操作的激光扫描显微镜
通过精心设计的软件，新手和有经验的用户都可以轻松使用显微镜。
本网页上的信息（包括保证的准确度）均基于Evident设定的条件。
材料工程和失效分析实验更轻松
智能实验管理器可将以前耗时的任务自动化，使亚微米级3D观察和失效分析实验工作流程变得更加简单。
规格
主机规格
型号 OLS5100-SAF OLS5100-SMF OLS5100-LAF OLS5100-EAF 综合倍率 54x ～ 17280x 视场 16 µm ～ 5,120 µm 测量原理 光学系统 反射型共聚焦激光扫描（激光）显微镜 光接收元件 激光：光电倍增管（2通道） 高度测量 显示分辨率 0.5 nm 动态范围 16位 可重复性σn-1*1 *2 *5 5X：0.45μm，10X：0.1μm，20X：0.03μm，50X：0.012μm，100X：0.012μm 准确度 *1 *3 *5 0.15 + L/100 μm（L：测量长度[μm]） 拼接图像准确度 *1 *3 *5 10X：5.0+L/100 μm；20X或更高：1.0+L/100 μm（L：拼接长度[μm]） 测量噪声（Sq噪声） *1 *4 *5 1 nm（典型值） 宽度测量 显示分辨率 1 nm 可重复性3σn-1 *1 *2 *5 5X：0.4μm，10X：0.2μm，20X：0.05μm，50X：0.04μm，100X：0.02μm 准确度 *1 *3 *5 测量值+/- 1.5% 拼接图像准确度 *1 *3 *5 10X：24+0.5L μm；20X：15+0.5L μm；50X：9+0.5L μm；100X: 7+0.5L μm（L：拼接长度[mm]） 单次测量时最大测量点数量 4096 × 4096像素 最大测量点数量 3600万像素 XY载物台配置 长度测量模块 • 不适用 不适用 • 工作范围 100 × 100 mm电动 100 × 100 mm 手动 300 × 300 mm 电动 100 × 100 mm 电动 最大样品高度 100 mm 40 mm 37 mm 210 mm 激光光源 波长 405 nm 最大输出 0.95 mW 激光分类 2类（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014*6 彩色光源 白光LED灯 电气功率 240 W 240 W 278 W 240 W 质量 显微镜主体 约重31 kg 约重32 kg 约重50 kg 约重43 kg 控制盒 约重12 kg
反射型共聚焦激光扫描（激光-DIC）显微镜
彩色
彩色-DIC
彩色：CMOS彩色相机
*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境中使用时可达到规格要求（温度：20℃±1℃，湿度：50％±10%）。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜且放大倍率为20倍或更高时。
*3 在使用专用LEXT物镜测量时。
*4 在使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值，可能与保证值不同。
*5 在Evident认证体系下有保证。
*6 OLS5100是2类激光产品。请勿盯着光束看。
** Evident提供的显微镜控制器已获得Window 10操作系统许可证。因此，Microsoft的许可条款适用，并且您要同意这些条款。请参阅以下Microsoft的许可条款。
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
物镜
系列 型号 数值孔径（NA） 工作距离（WD）（mm） UIS2物镜 MPLFLN2.5X 0.08 10.7 MPLFLN5X 0.15 20 专用LEXT物镜（10X） MPLFLN10XLEXT 0.3 10.4 专用LEXT物镜（高分辨率） MPLAPON20XLEXT 0.6 1 MPLAPON50XLEXT 0.95 0.35 MPLAPON100XLEXT 0.95 0.35 专用LEXT物镜（长工作距离型） LMPLFLN20XLEXT 0.45 6.5 LMPLFLN50XLEXT 0.6 5.2 LMPLFLN100XLEXT 0.8 3.4 超长工作距离物镜 SLMPLN20X 0.25 25 SLMPLN50X 0.35 18 SLMPLN100X 0.6 7.6 长工作距离LCD物镜 LCPLFLN20XLCD 0.45 8.3-7.4 LCPLFLN50XLCD 0.7 3.0-2.2 LCPLFLN100XLCD 0.85 1.2-0.9
应用软件
*1 包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。*2 包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。
标准软件 OLS51-BSW 数据采集应用程序 分析应用程序（简单分析） 电动载物台软件包应用程序*1 OLS50-S-MSP 高级分析应用程序*2 OLS50-S-AA 薄膜厚度测量应用程序 OLS50-S-FT 自动边缘测量应用程序 OLS50-S-ED 颗粒分析应用程序 OLS50-S-PA 实验流辅助应用程序 OLS51-S-ETA 球体/圆柱体表面角度分析应用程序 OLS50-S-SA
